電子エネルギー効率を高めるスタンフォードのパートナー、*スター

シンガポール科学技術研究院(A * Star)とスタンフォード大学は、ラップトップやスマートフォンなどの電子機器のエネルギー効率を向上させるために、ナノエレクトロメカニカルシステム(NEMS)スイッチ技術の開発に協力しています。

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A * Starは、金曜日の声明で、マイクロエレクトロニクス研究所(Institute of Microelectronics、IME)は米国の大学と共同してNEMS製造プロセスとデバイスを共同開発すると述べた。このプロジェクトは2つの段階に分かれており、第1段階では2013年までにNEMSスイッチの信頼性のある運用を実証することに焦点を当てています。

A * Starによると、ラップトップやスマートフォンなどの電子機器にNEMSスイッチを使用すると、従来の半導体スイッチを使用するデバイスの中で最もパワフルなスタンバイモードの1つである電流リークを打ち消すことができます。

対照的に、NEMSスイッチを使用すると、デジタルブロックの総消費電力を最大10倍まで削減できます。

スタンフォード大学の工学部のWillard R.とInez Kerr教授のPhilip Wong氏は次のように述べています。「NEMSリレーは、電力消費を削減するために従来のSi CMOS技術を効果的に補完するものであることが証明されました。このデバイス技術を実際のアプリケーションでSi CMOSとの共同集積に適した製造プロセスに進める」と語った。

このプロジェクトをリードするIME科学者であるLee Jae Wung氏は次のように述べています。「信頼できるNEMSスイッチを構築するうえでの課題の1つは、適切な真空条件と充填を提供することによってスイッチ構造とコンタクト材料を劣化から酸化から保護するキャビティ内の不活性ガス ”

IMEのバックエンド・オブ・ライン適合材料およびプロセスにおける能力は、この課題に強く貢献するとLee氏は付け加えた。

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